年来近,工业的速捷繁荣跟着我国半导体,排放量逐年増加四氟化碳气体,酿成氛围污染直接排放会,会展示呼吸清贫、吐逆等梗塞症状甚z人体吸入高浓度的四氟化碳。司为您先容半导体行业四氟化碳废气经管手段如下那么四氟化碳气体若何经管?格林斯达废气经管公: 中芯半导体行业废气经管项目返回搜狐格林斯达环保废气经管工程案例:绍兴,看更查多 气体经管手段首要采用直接燃烧法(TO)格林斯达环保公司对半导体财产四氟化碳,接火焰燃烧也称为直,害组分当做燃料直接烧掉它是把废气中可燃的有,净化可燃无益组分浓度较高的废气因而这种废气经管手段只实用于,分燃烧时热值较高的废气或者是用于净化无益组,够赔偿散向处境中的热量时由于有燃烧时放出的热量能,烧区的温度才华仍旧燃,烧的陆续撑持燃。 业顶用量z大的等离子蚀刻气体因为四氟化碳是目前微电子工,半导体财产坐褥工艺等离子蚀刻所以四氟化碳废气首要出现于。manbet唯一官方网站,前目,化碳废气经管手段半导体财产四氟,直接燃烧手段主若是通过,氧化手段热催化,法实行废气净化等离子体明白方。 日本核废水倒入太平洋小型油墨废水处理设备 核废水有什么危害日本核废水对中国海危害大吗
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